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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and year="96"


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    應用原子力顯微鏡於矽基材進行奈米氧化術之探討
    • 自動化及控制研究所 /96/ 碩士
    • 研究生: 蔡青凌 指導教授: 周賢鎧
    • 本文利用原子力顯微鏡之奈米氧化術,直接在單晶矽表面上產生局部陽極氧化(Tip-Induced Local Anodic Oxidation),並以導電探針施加偏壓的方式來進行奈米氧化線及奈米仿圓形圖…
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    應用微影製程開發氣體感測器之研究
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 蔡豔雪 指導教授: 黃佑民
    • 摘 要 科技的進步,對環境的汙染日趨嚴重,於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞;而在日常生活中,每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生,因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外,…
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