檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and year="96"
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本文利用原子力顯微鏡之奈米氧化術,直接在單晶矽表面上產生局部陽極氧化(Tip-Induced Local Anodic Oxidation),並以導電探針施加偏壓的方式來進行奈米氧化線及奈米仿圓形圖…
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摘 要 科技的進步,對環境的汙染日趨嚴重,於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞;而在日常生活中,每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生,因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外,…